薄膜応力測定装置
- 装置番号
- A9410
- 構成装置・型番
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| メーカー・名称 | 型番 |
| 東朋テクノロジー | FLX-2320-R |
- ヨミ
- ハクマクオウリョクソクテイソウチ
- 料金
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9,000円 1時間 (消費税10%を含みます)
- 仕様
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| 基板サイズ | 3~8インチ |
| 応力範囲 | 1~4000 MPa |
| 測定再現性 | ±1.3 MPa |
| 昇温機能 | なし(常温測定のみ) |
| レーザー使用波長 | 670nm/780nm |
| ロケーター | 3,4,5インチウェハー用 |
| ロケーター | 70x70 mm□基板用 |
- 関連資料・リンク
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- 概要
- 本装置は、薄膜の堆積に伴って基板に生じる変位量をレーザーによって高精度に測定することを基本原理としています。半導体レーザーを一軸方向、あるいは基板全面をマッピング状に走査することで精密に曲率半径を測定でき、測定結果を解析することで高精度な応力値の評価ができます。
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